Beneq Transform ALD cluster tool qualified for GaN power device production by tier-1 Asian manufacturer
01.05.25 14:11 Uhr
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Beneq of Espoo, Finland says that its Transform atomic layer deposition (ALD) cluster tool has been qualified for volume production of gallium nitride (GaN)-based power devices on 8-inch GaN-on-silicon wafers by a tier-1 GaN power device manufacturer in Asia...Weiter zum vollständigen Artikel bei Semiconductor Today
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Quelle: Semiconductor Today
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