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Axcelis launches Purion Power Series+ ion implant platform for SiC power devices

09.09.25 21:28 Uhr

Ion implantation system maker Axcelis Technologies Inc of Beverly, MA, USA has launched the Purion Power Series+ ion implant product platform, designed specifically to enable improved device performance and increase productivity for next generation power devices, including emerging superjunction architectures...Weiter zum vollständigen Artikel bei Semiconductor Today

Quelle: Semiconductor Today

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