Ohio State University buys Aixtron CCS MOCVD system
20.11.25 13:16 Uhr
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The Ohio State University (OSU) has purchased a Close Coupled Showerhead system for metal-organic chemical vapor deposition (CCS MOCVD) from Aixtron SE of Herzogenrath, near Aachen, Germany. The tool will be used for epitaxy of gallium oxide (GaO) and aluminum gallium oxide (AlGaO) for materials and device development on 100mm substrates...Weiter zum vollständigen Artikel bei Semiconductor Today
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Quelle: Semiconductor Today
